材料本身所具有的性能，必須通過正確的（de）熱處理手段（duàn）來達到。隻有良好的熱處理手段，才能實現我們預想（xiǎng）的性能期望。根據塑封模具材料性能要求，塑封模熱（rè）處理手段主要是高溫淬火（huǒ）、深冷處理、高溫回火，並多次（cì）反複，通過這些不同的處理，達到最佳的模具性能。 
1、高溫淬火 
    為了提高材料的剛性（xìng）和耐磨損（sǔn）性，一般材料均需（xū）加熱到1030℃以上（shàng）。高溫下，各種合金元素充分溶解於奧氏體（tǐ）內，以便在（zài）淬火時獲得高的基體硬度，同（tóng）時為了保證零件不發生脫碳氧化，相應采用了真空處理（lǐ）。目前（qián）半導體行業內使（shǐ）用的高（gāo）速（sù）率氣淬淬火爐，可以在高（gāo）真空（kōng）條件下通過氮氣保護對工件進行加熱，既保證了工件的脫碳氧化，又防（fáng）止了（le）合金元素的蒸發。同時采用200-500Kpa範圍內可調節氣體壓力，對（duì）工（gōng）件進行淬（cuì）火冷（lěng）卻，在保證工件充分淬透的同時又減少了（le）變形。 
2、深冷處（chù）理與高溫回火 
    高合（hé）金鋼（gāng）在淬火後（hòu），由於其（qí）馬氏（shì）體轉變點（Ms點）均高（gāo）於室溫，為了提高硬度，保證尺寸穩定性，通常要進行深冷處理和高溫回火，以保證殘餘奧氏體充分轉變為穩（wěn）定的（de）回火馬氏體。我們將經（jīng）過真空淬火後的工件，在室溫（wēn）至100℃之間進行校正，然（rán）後放入-140℃的深冷處理箱中（zhōng）進行深冷。工件在不出爐的情況下，可以在-140℃至230℃之間進行冷熱循環，保證工件不會因為進出爐而產生變形或開裂。同時由於采用氮氣保護也避免了工件在回（huí）火中的氧化開（kāi）裂。目前對於D2類材料，我們通常在（zài）深（shēn）冷設備中直接完成-140℃深冷至（zhì）230℃回火的3次循環。對於高於230℃回火的鋼種如SAM97、ELmax、ASP23等，我們采用了真空（kōng）回火爐，在抽真空後，加入99.999%的（de）高（gāo）純氮（dàn）氣作為介質，通過（guò）吹風方向的改變來形成對流，保證了工件的溫度均勻性，同時節省了回火時間。 
3、其它輔（fǔ）助手段 
    在提高了淬（cuì）火（huǒ）回火及深冷（lěng）處（chù）理質量的同時，我們同時對工件的其它（tā）環節給予了充分的（de）重視，過去認為的熱處（chù）理工件潔淨（jìng）度（dù）與處理無關（guān）的觀點已經（jīng）被拋棄（qì），增加潔淨預處理。即將未入爐（lú）零（líng）件，通過真（zhēn）空清洗機進（jìn）行真空（kōng）去油、脫脂、幹燥。去除了工件的各（gè）類加工油汙（wū）和碎屑，保證了入爐工件不會帶入其它雜質，避免（miǎn）了（le）在高溫加熱時雜質分解，汙染爐內環境和工（gōng）件本身（shēn），從微觀上保證了（le）工件的組織潔淨度和處理（lǐ）質量的完美性，提高了工件的使用壽命（mìng）。

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